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目錄:北京慧龍環(huán)科環(huán)境儀器有限公司>>實(shí)驗(yàn)室儀器>>合肥科晶>> VTC-2DC2英寸500W直流等離子磁控濺射鍍膜儀

2英寸500W直流等離子磁控濺射鍍膜儀
  • 2英寸500W直流等離子磁控濺射鍍膜儀
參考價(jià) 面議
具體成交價(jià)以合同協(xié)議為準(zhǔn)
參考價(jià) 面議
具體成交價(jià)以合同協(xié)議為準(zhǔn)
  • 品牌 合肥科晶
  • 型號(hào) VTC-2DC
  • 廠商性質(zhì) 經(jīng)銷商
  • 所在地 國外
屬性

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更新時(shí)間:2022-11-21 09:59:02瀏覽次數(shù):1847評(píng)價(jià)

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VTC-2DC2英寸500W直流等離子磁控濺射鍍膜儀是一款小型的直流(DC)等離子體磁控濺射鍍膜儀系統(tǒng),系統(tǒng)中包含了所有所需的配件,如500W(600V)的DC電源、2英寸的磁控濺射頭、石英真空腔體、真空泵和溫度控制器等。

VTC-2DC2英寸500W直流等離子磁控濺射鍍膜儀

產(chǎn)品概述:

VTC-2DC2英寸500W直流等離子磁控濺射鍍膜儀是一款小型的直流(DC)等離子體磁控濺射鍍膜儀系統(tǒng),系統(tǒng)中包含了所有所需的配件,如500W(600V)的DC電源、2英寸的磁控濺射頭、石英真空腔體、真空泵和溫度控制器等。對(duì)于制作一些金屬薄膜,它是一款物美價(jià)廉的實(shí)驗(yàn)手。

主要參數(shù):

  • 輸入電源:220V AC 50Hz    
  • 輸出電壓:600 VDC 
  • 輸出功率:大500W 
  • 整機(jī)功率:1000W(包括真空泵)

濺射腔體:

  • 采用石英腔體,尺寸:166mm OD x 150mm ID x250mm H(配置直靶頭)
  • 尺寸:166mm OD x 150mm ID x290mm H(配置帶角度傾斜靶頭) 
  • 密封法蘭:直徑為165mm,采用金屬制作,密封采用O形密封圈

濺射頭&樣品臺(tái):

  • 濺射頭安裝靶材直徑為2英寸,同時(shí)可選配1英寸濺射頭
  • 儀器中安裝有直徑為50mm的不銹鋼樣品臺(tái),其與濺射頭之間距離可調(diào) 
  • 樣品臺(tái)可加熱,加熱溫度RT-500℃(RT為室溫) 
  • 安裝有一可手動(dòng)操作的擋板 
  • 大可制膜的直徑為:2英寸(標(biāo)配2英寸,如果需要更大尺寸請(qǐng)與我們銷售聯(lián)系)

真空系統(tǒng):

  • 安裝有KF25真空接口 
  • 數(shù)字真空壓力表(Pa) 
  • 此系統(tǒng)運(yùn)行需要Ar氣,并且氣瓶上安裝有減壓閥(設(shè)備中不包含) 
  • 采用機(jī)械泵< 3.8E-2 Torr(參考值,詳情請(qǐng)點(diǎn)擊) 
  • 采用渦旋分子泵< 3.8E-5 Torr(參考值,詳情請(qǐng)點(diǎn)擊) 
  • 可在本公司選購各種真空泵

進(jìn)氣:

  • 設(shè)備上配1/4英寸進(jìn)氣口方便連接氣瓶 
  • 設(shè)備前面板上裝有一氣流調(diào)節(jié)旋鈕,方便調(diào)節(jié)氣流

靶材:

  • 靶材尺寸要求:Φ50mm×(0.1-5)mm(厚度) 
  • 可在本公司選購各種靶材

薄膜測(cè)厚儀(可選):可在本公司選購薄膜測(cè)厚儀安裝在濺射儀上

產(chǎn)品外形尺寸:

540mm L x540 mm W x1100mm H

凈重:70 kg(不包括泵)

質(zhì)量認(rèn)證:CE認(rèn)證

  • 使用提示:
    有時(shí)為了達(dá)到理想的薄膜厚度,可能需要多次濺射鍍膜 
  • 為了得到的薄膜質(zhì)量,必須通入高純氣體(建議> 5N) 
  • 在濺射鍍膜前,確保濺射頭、靶材、基片和樣品臺(tái)的潔凈 
  • 要達(dá)到薄膜與基底良好結(jié)合,請(qǐng)?jiān)跒R射前清潔基材表面 
  • 超聲波清洗(詳細(xì)參數(shù)點(diǎn)擊下面圖片):(1)丙酮超聲(2)異丙醇超聲-去除油脂(3)吹氮?dú)飧稍铮?)真空烘箱除去水分。 
  • 等離子清洗(詳細(xì)參數(shù)點(diǎn)擊下面圖片):可表面粗糙化,可激活表面化學(xué)鍵,可祛除額外的污染物。 
  • 制造一個(gè)薄的緩沖層(5納米左右):如Gr,Ti,Mo,Ta,可以應(yīng)用于改善金屬和合金的附著力。

警告:

  • 注意:產(chǎn)品內(nèi)部安裝有高壓元件,禁止私自拆裝,帶電移動(dòng)機(jī)體。 
  • 氣瓶上應(yīng)安裝減壓閥(設(shè)備標(biāo)配不包括),保證氣體的輸出壓力限制在0.02兆帕http://www.kjmti.com/LUEditor/themes/default/images/spacer.gif以下,以安全使用。 

濺射頭連接到高電壓。為了安全,操作者必須在關(guān)閉設(shè)備前裝樣和更換靶

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