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VTC-100PA真空旋轉(zhuǎn)涂膜機
產(chǎn)品概述:
VTC-100PA真空旋轉(zhuǎn)涂膜機適用于半導(dǎo)體、晶體、光盤、制版等表面涂覆工藝。本機可用于強酸、強堿性涂覆溶液的涂膜制備。
主要特點:
參數(shù):
進氣口:上蓋有一個直徑6mm的進氣口可將需要的氣體通入腔體,實現(xiàn)在氣氛環(huán)境下旋轉(zhuǎn)涂覆
可選加熱部分:上蓋內(nèi)部增加紅外燈管加熱,采用K型熱偶測溫,數(shù)字溫控器控溫,高120℃,可使得樣品涂覆后原位烘干,用于薄膜太陽能電池等研究。
產(chǎn)品規(guī)格:
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