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VPO-300快速退火爐

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  • VPO-300快速退火爐
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參考價 面議
具體成交價以合同協議為準
  • 型號 qirui
  • 品牌 其他品牌
  • 廠商性質 經銷商
  • 所在地 上海市
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更新時間:2020/10/31 15:38:49瀏覽次數:3092

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產品簡介

產地類別 進口 價格區間 面議
應用領域 化工,能源,電子/電池,包裝/造紙/印刷,電氣
VPO-300快速退火爐
快速退火爐(RTP/RTA)是半導體材料和器件常用的一款工藝設備。快速退火爐可以在真空、惰性氣氛、不同的工藝氣體環境下使用。VPO-300是一款很有特點的快速退火爐,有非常大的退火空間,適合12英寸晶圓或300mm x 300mm大尺寸樣品的熱處理。

詳細介紹

VPO-300快速退火爐

快速退火爐(RTP/RTA)是半導體材料和器件常用的一款工藝設備。快速退火爐可以在真空、惰性氣氛、不同的工藝氣體環境下使用。VPO-300是一款很有特點的快速退火爐,有非常大的退火空間,適合12英寸晶圓或300mm x 300mm大尺寸樣品的熱處理。

儀器特點:
  -  快速熱處理、快速熱退火  RTP / RTA;
  -  可在真空、甚至于高真空環境使用;
  -  加熱區域尺寸:300毫米 X 300毫米;
  -  廣泛用于太陽能電池片快速退火工藝,如156mm x 156mm電池片,300mm x 300mm電池片等;

儀器特點:
  -  快速熱處理、快速熱退火  RTP / RTA;
  -  可在真空、甚至于高真空環境使用;
  -  加熱區域尺寸:300毫米 X 300毫米;
  -  廣泛用于太陽能電池片快速退火工藝,如156mm x 156mm電池片,300mm x 300mm電池片等;

 

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