隨著機械制造技術的快速發(fā)展，信息技術、激光技術、計算機技術和微電子技術等的廣泛應用，機械加工、制造設備以及檢測儀器等的精度要求也逐漸提高。精度的高標準，形成了對機械設備性能的高要求，進而推動了精密檢測和加工設備的快速發(fā)展。

氣浮運動臺是檢測和加工設備的運動執(zhí)行部分，作為實現(xiàn)精密定位和精確運動，保證系統(tǒng)技術指標的核心組件，在現(xiàn)代航空、計算機、電子制造等科學研究與*領域扮演著重要的角色，特別是在精密制造、光學檢測與集成電路的大規(guī)模生產(chǎn)等方面有著十分廣泛的應用川，故針對其在現(xiàn)代制造業(yè)中如此重要的實用價值，各工業(yè)制造強國都很重視精密和超精密運動工作臺的研究與發(fā)展。所以，在推動我國從“世界制造大國”轉變?yōu)?/span>“世界制造強國”的道路上，開展精密和超精密運動工作臺的研究具有長遠的意義。

傳統(tǒng)的氣浮運動臺多數(shù)采用旋轉電機與滾動絲杠相結合，將電機的旋轉運動經(jīng)由絲杠轉變?yōu)榕c其相連的工作臺的直線運動。這種驅(qū)動方式的缺點很明顯，如系統(tǒng)傳動鏈較長、結構復雜、摩擦較大等。另外，其承載與導向元件一般采用滑動或滾動導軌，這兩類導軌在系統(tǒng)進行低速運動時會出現(xiàn)“爬行”現(xiàn)象，致使運動不穩(wěn)定，影響系統(tǒng)精度。在精密與高精密測量與制造領域，如何解決上訴問題是提高工作臺性能的關鍵。直線電機驅(qū)動的精密運動工作臺應時而生，其消除了電動機到工作臺的傳動環(huán)節(jié)，實現(xiàn)了零傳動鏈的電機驅(qū)動方式。另外，根據(jù)部分輕載工作臺的應用要求，結合導軌的優(yōu)劣性能，采用氣浮導軌與直線電機相結合的方式，使高速度、高加速度、高精度等技術指標的實現(xiàn)變得更加容易，成為了在精密運動臺發(fā)展中的又一-突破。但是，結合國內(nèi)外發(fā)展現(xiàn)狀，我國的氣浮運動臺技術遠遠落后于國外各工業(yè)大國，各種設備多靠進口，自主研發(fā)能力較弱，這種情況嚴重制約著我國的工業(yè)技術發(fā)展，所以，對氣浮運動臺的研究意義深遠。