| 產地類別 | 國產 | 產品種類 | 電動 |
|---|---|---|---|
| 價格區間 | 面議 | 應用領域 | 生物產業,電子/電池,包裝/造紙/印刷,鋼鐵/金屬,航空航天 |
設計特點
RBZK系列雙軸中空精密運動臺，疊層緊湊的中空外形結構，工作點位置降低，光柵反饋位置接近工作表面，在晶圓檢測中至關重要。高精度滾柱導軌和精密研磨的加工表面，專業的裝配工藝，獲得直線度±1.25μm，平面度±1.5μm。
雙驅結構
每軸用雙直線電機驅動，龍門交叉解耦控制算法，提供雙電機的運行的一致性，提供大推力、速度1m/s和準確的定位，直線電機的溫度控制在室溫，比滾珠絲桿傳動結構的運動臺，性能有了提升。
光柵反饋
每軸采用雙光柵尺閉環反饋，安裝位置接近工作表面，能夠有效地降低系統誤差影響，提升整體精度性能。可選電子分辨率≤1nm或≤5nm。
線纜管理
使用高質量無塵拖鏈，優化管線彎曲半徑，防止動作過程中影響其性能，同時也適用在潔凈室內。
規格指標
注：
以上為單軸精度指標，在潔凈間內測試，溫度20℃±1℃，濕度40%~60%RH，振動等級VC-E，測試點在負載板上25mm處，測試速度10mm/s，Renishaw激光干涉儀測量及自帶分析方法，多軸系統的精度測試與負載尺寸及測試點高度有關，環境的變化會導致精度變化，如要求非標準測試，請咨詢我們。
1. 取決于平臺安裝表面的平面度。
2. 電子分辨率取決光柵尺及控制器的細分倍數。
3. 空載條件下指標，MAX速度和加速度取決于負載大小。
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