氣浮運動臺是有氣浮導軌構成的精密運動臺。在常見的設備中，經常看到一些運動裝置，按驅動方式分為步進電機、伺服旋轉電機、直線電機、音圈電機及壓電陶瓷電機等；按導軌導向分類為機械導軌（摩擦式）和氣浮導軌，其中光刻機用的磁懸浮也為非接觸式，但成本相當昂貴；按反饋形式分為開環、半閉環和閉環，步進電機為開環，伺服電機為半閉環，直線電機驅動并搭配光柵尺行程閉環反饋。

根據應用，精度等級不同，所以選用不同的運動裝置。以下是大致介紹：

步進電機加精密絲桿驅動，機械導軌導向，為開環運動裝置，按脈沖的個數移動，100mm行程精度在50μm-100μm，應用在低精度行業應用。

伺服電機加精密絲桿驅動，機械導軌導向，為半閉環運動裝置（通過伺服電機后的原編碼器反饋，不能監測工件移動的位置），精度在20-30μm。行業內也可以移動工件的編碼加光柵尺做閉環反饋，精度能做到5-10μm，絲桿和聯軸器有反向間隙，所以精度做不高，同時絲桿的螺距，致使空載的速度在300mm/s以內。增大絲桿螺距提升速度，但又犧牲精準度。

氣浮運動臺采用直驅電機（直線電機和直驅力矩電機）作為直接驅動方式，在行業得到了認可。電機的動子直接連接負載板,通過機械導軌導向，中間無任何傳動裝置，速度可高達2m/s，100mm行程精度在1-2μm，同時也可以搭配氣浮導軌導向，獲取更高的亞微米級別精度。