KASHIYAMA MU100X 干式真空泵

產品簡介

 MU100X 是日本 KASHIYAMA（樫山工業）推出的 MU-XE 系列中小型干式真空泵，專為對潔凈度要求高的行業設計，如半導體、液晶顯示器、LED 及太陽能光伏等。該型號在能效、穩定性、結構緊湊性和維護便捷性方面均表現優異。

技術參數

• 抽速：1660 L/min

• 極限壓力：1.5 Pa

• 電源：三相 AC 200–220V，50/60Hz

• 功耗：約 0.35 kW

• 尺寸：450 × 230 × 275 mm

• 重量：約 60 kg

產品特點

• 無油潔凈設計：無油運轉，避免油污染，確保工藝腔體潔凈無殘留。

• 高抽速輸出：1660 L/min 高效抽氣能力，適應中高負載真空需求。

• 節能環保：低功耗電機，運行能效比優于同類產品。

• 結構緊湊：占地面積小，適合設備集成和改造項目。

• 維護便捷：模塊化結構，簡化檢修流程，降低使用成本。

應用領域

KASHIYAMA MU100X 干式真空泵廣泛應用于以下制造行業：

• 半導體前道與后道工藝（CVD、PVD、刻蝕、封裝）

• 液晶顯示器（LCD）面板制造

• LED 芯片生產與測試

• 太陽能電池組件制造

• 真空鍍膜系統、等離子清洗設備等

配套服務

• 原廠技術支持，提供選型指導

• 可定制接口方案，支持整線集成

• 提供安裝調試與售后維護服務

• 長期現貨供應，支持項目投標