KASHIYAMA SDE120TX 真空泵

產(chǎn)品簡介

KASHIYAMA SDE120TX 真空泵是一款高性能干式真空泵，專為半導(dǎo)體、光電顯示、化學(xué)氣相沉積（CVD）、蝕刻（Etch）和其他工藝環(huán)境設(shè)計(jì)。該機(jī)型隸屬于日本樫山工業(yè)（Kashiyama Industries, Ltd.）SDE-TX 系列，采用先進(jìn)的垂直螺桿結(jié)構(gòu)，具有出色的耐腐蝕性能和穩(wěn)定性，是現(xiàn)代真空系統(tǒng)的理想選擇。

技術(shù)參數(shù)

• 最大抽速：1500 L/min

• 極限壓力：1.3 Pa（不加氮?dú)鈺r(shí)）

• 輸入電壓：三相 AC200–220V，50/60Hz

• 功耗：約 2.8 kW

• 外形尺寸：約 930 mm × 400 mm × 500 mm

• 整機(jī)重量：約 151 kg

產(chǎn)品特點(diǎn)

• 大抽速性能：最大抽速可達(dá) 1,500 L/min，滿足苛刻工藝對真空效率的高要求。

• 低極限壓力：極限真空度低至 1.3 Pa，在未使用氮?dú)獯祾邥r(shí)亦可維持高性能穩(wěn)定運(yùn)行。

• 干式運(yùn)行設(shè)計(jì)：無油結(jié)構(gòu)避免了污染風(fēng)險(xiǎn)，特別適合潔凈室環(huán)境和高純度工藝。

• 高可靠性結(jié)構(gòu)：垂直安裝的雙螺桿結(jié)構(gòu)可有效防止顆粒堆積，延長泵體壽命。

• 適應(yīng)惡劣氣氛：配備高耐腐蝕材料與溫控系統(tǒng)，適用于處理腐蝕性和反應(yīng)性氣體。

應(yīng)用領(lǐng)域

• 半導(dǎo)體蝕刻設(shè)備（Etch）

• 化學(xué)氣相沉積（CVD、PE-CVD、LP-CVD、SA-CVD）

• 原子層沉積（ALD）

• OLED 與液晶面板制造

• 精密薄膜沉積與剝離工藝

• 實(shí)驗(yàn)室與潔凈室真空系統(tǒng)

可選功能配置

• 前級加熱排氣配管系統(tǒng)：防止冷凝和積碳，增強(qiáng)系統(tǒng)穩(wěn)定性。

• 多級溫控系統(tǒng)：根據(jù)不同應(yīng)用調(diào)節(jié)泵體溫度，提高兼容性。

• 除害裝置聯(lián)動(dòng)接口：支持等離子、燃燒、冷凝等除害方式接入，提升環(huán)保性能。

• 遠(yuǎn)程監(jiān)控與報(bào)警系統(tǒng)：實(shí)時(shí)掌握泵體運(yùn)行狀態(tài)，便于系統(tǒng)集成與自動(dòng)化管理。