KASHIYAMA SDE90TX 真空泵

產品簡介

KASHIYAMA SDE90TX 真空泵 是日本樫山工業（Kashiyama Industries, Ltd.）推出的一款高性能干式真空泵，隸屬于 SDE 系列，專為應對半導體、顯示器、化學氣相沉積（CVD）等苛刻工藝環境而設計。

技術參數

• 最大抽速：1,300 L/min

• 極限壓力：1.3 Pa（不加氮氣時）

• 輸入電壓：三相 AC200–220V，50/60Hz

• 功耗：約 1.3 kW

• 外形尺寸：約 690 mm × 370 mm × 501 mm

• 整機重量：約 130 kg

產品特點

• 大抽速性能：最大抽速可達 1,300 L/min，滿足苛刻工藝對真空效率的高要求。

• 低極限壓力：極限真空度低至 1.3 Pa，在未使用氮氣吹掃時亦可維持高性能穩定運行。

• 干式運行設計：無油結構避免了污染風險，特別適合潔凈室環境和高純度工藝。

• 高可靠性結構：垂直安裝的雙螺桿結構可有效防止顆粒堆積，延長泵體壽命。

• 適應惡劣氣氛：配備高耐腐蝕材料與溫控系統，適用于處理腐蝕性和反應性氣體。

應用領域

• 半導體蝕刻設備（Etch）

• 化學氣相沉積（CVD、PE-CVD、LP-CVD、SA-CVD）

• 原子層沉積（ALD）

• OLED 與液晶面板制造

• 精密薄膜沉積與剝離工藝

• 實驗室與潔凈室真空系統

可選功能配置

• 前級加熱排氣配管系統：防止冷凝和積碳，增強系統穩定性。

• 多級溫控系統：根據不同應用調節泵體溫度，提高兼容性。

• 除害裝置聯動接口：支持等離子、燃燒、冷凝等除害方式接入，提升環保性能。

• 遠程監控與報警系統：實時掌握泵體運行狀態，便于系統集成與自動化管理。