Kashiyama NeoDry 60E 干式真空泵

產(chǎn)品概述

Kashiyama NeoDry 60E 是一款高性能的干式真空泵，采用多葉片Roots轉(zhuǎn)子結(jié)構(gòu)，具備無油、低噪音、易維護(hù)等特點(diǎn)。其設(shè)計(jì)適用于需要高潔凈度和穩(wěn)定性能的應(yīng)用場景，如實(shí)驗(yàn)室、半導(dǎo)體制造、真空鍍膜等。

技術(shù)參數(shù)

• 最大抽速：1000 L/min（約35.3 CFM）

• 極限真空度：≤1 Pa（7.5 mTorr）

• 進(jìn)氣/排氣接口：NW40 / NW25

• 允許最大進(jìn)氣壓力：大氣壓

• 電機(jī)功率：1.5 kW

• 電源選項(xiàng)：單相或三相 200–240V（50/60Hz）

• 氣鎮(zhèn)功能：支持氮?dú)饣蚩諝猓ㄓ糜谔幚硭魵猓?/p>

• 最大允許水蒸氣處理量：600 g/h

• 噪音水平：≤60 dB(A)

• 重量：約56 kg

• 尺寸：約530 × 315 × 275 mm

產(chǎn)品亮點(diǎn)

• 無油干式設(shè)計(jì)：內(nèi)部無接觸部件，無需更換密封件，避免油污染，適用于高潔凈度要求的環(huán)境。

• 空氣冷卻：無需冷卻水，簡化安裝和維護(hù)。

• 高效處理水蒸氣：配備氣鎮(zhèn)功能，適合處理含水或可凝性氣體。

• 低噪音、低振動：運(yùn)行安靜，適合實(shí)驗(yàn)室和精密設(shè)備環(huán)境。

• 維護(hù)周期長：建議每3年維護(hù)一次，降低運(yùn)營成本。

典型應(yīng)用領(lǐng)域

• 掃描電子顯微鏡（SEM）

• 質(zhì)譜儀（MS）

• 真空鍍膜設(shè)備

• 光譜儀

• 檢漏儀

• 冷凍干燥機(jī)

• 渦輪分子泵的前級泵

• 真空干燥與脫氣