KASHIYAMA MU100XE 干式真空泵

產品簡介

MU100XE 干式真空泵 是日本樫山工業（KASHIYAMA）MU-XE 系列中的高性能干式真空泵，專為半導體、液晶顯示器、LED 和光伏行業設計，具備無油潔凈、節能環保、結構緊湊、易于維護等優勢。憑借其可靠的性能和穩定的運行能力，MU100XE 已廣泛應用于多種嚴苛的工藝環境中。

技術參數

• 抽速：1660 L/min

• 極限壓力：1.5 Pa

• 電源：三相 AC 200–220V，50/60Hz

• 功耗：約 0.25 kW

• 尺寸：450 × 230 × 275 mm

• 重量：約 60 kg

產品特點

• 無油干式設計：無需油封，避免油蒸汽污染，特別適合潔凈室和敏感工藝環境。

• 高抽速、低能耗：優化的Roots轉子結構，提供高達1660 L/min的穩定抽速，節能高效。

• 結構緊湊，易集成：體積小巧，適用于空間受限的自動化設備或成套系統集成。

• 超低維護成本：部件壽命長，維護周期延長，降低運營成本。

• 適配性強：可兼容多種工藝氣體環境，適用于CVD、PVD、刻蝕、封裝等多種工藝流程。

應用領域

• 半導體制造設備（刻蝕、沉積、蝕刻等）

• 液晶顯示器（LCD）生產線

• 太陽能光伏組件制造

• LED 芯片制造

• 電子封裝與測試設備

• 真空鍍膜和涂層系統